虚拟半导体工艺建模是研究金属线设计选择更为经济、快捷的方法 l 由于阻挡层相对尺寸及电阻率增加问题，半导体行业正在寻找替代铜的金属线材料。 l 在较小尺寸中，钌的性能优于铜和钴，因此是较有潜力的替代材料。…