资讯通过工艺建模进行后段制程金属方案分析虚拟半导体工艺建模是研究金属线设计选择更为经济、快捷的方法 l 由于阻挡层相对尺寸及电阻率增加问题,半导体行业正在寻找替代铜的金属线材料。 l 在较小尺寸中,钌的性能优于铜和钴,因此是较有潜力的替代材料。… 2024年4月12日 资讯 zhangqi 阅读全文